PROJECT

친환경 차세대 반도체의 신뢰성 향상을 위한 4H-SiC 기반 ESD 보호소자 핵심기술 개발

2021-06-01~2024-02-28

​개발 대상 기술,제품의 개요

• 4H-SiC 환경의 ESD 보호 소자의 Snapback 제어 및 SOA 확보를 위한 핵심 원천기술 개발

• 4H-SiC 반도체에 최적의 호환성을 제공하기 위해 설계 기법을 통한 ESD Design Window 최적화를 수행

• 4H-SiC의 우수한 전류구동능력, 고온 특성을 유지하고 4H-SiC의 강력한 Snapback을 효과 적으로 제어할 수 있는 새로운 구조의 개발

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개발결과의 기대효과

• 세계 최초 및 최고 수준의 고성능 ESD 보호기술의 선점

• 500V 급 이상의 고전압용 적층형 4H-SiC 기반 ESD 보호소자 개발

• 개발된 ESD 보호회로를 ESD Clamp, TVS 등으로 적극적인 활용하여 전체 반도체 불량의 약 40%를 차지하는 ESD/EOS 파괴현상을 획기적으로 개선

• 높은 에너지 효율로 차세대 친환경 전기 자동차(Fuel Cell Hybrid Vehicle, Hybride Vehicle), 태양광 발전, 가전, 산업기기 등의 분야에서 적극 활용되고 있는 SiC 반도체의 생산성 증대와 신뢰성 향상에 크게 기여